德国PI（Physik Instrumente）

具有直接位置测量功能的高动态纳米定位器/扫描仪

 

2 轴和 3 轴版本（XY 和 XYθ Z）

行程范围达 200 µm

亚纳米分辨率

pi-P-517 • P-527 多轴压电扫描仪

应用领域

计量学

干涉测量法

光子学/集成光学

光刻

纳米定位

扫描显微镜

样本对齐

微加工

具有电容式传感器的亚纳米分辨率

电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，无需接触。它们保证出色的运动线性度、长期稳定性和 kHz 范围内的带宽。

自动配置和快速组件更换

机械和控制器可以根据需要组合并快速更换。所有伺服和线性化参数都存储在机械装置 D-sub 连接器的 ID 芯片中。每次打开控制器时，数字控制器的自动校准功能都会使用此数据。

 

得益于 PICMA® 压电执行器，使用寿命长

获得专利的PICMA®压电执行器是全陶瓷绝缘的。这可以保护它们免受因漏电流增加而导致的潮湿和故障的影响。PICMA® 执行器的使用寿命比传统的聚合物绝缘执行器长十倍。已证明 1000 亿次循环无一次故障。

零间隙挠性导轨实现高导向精度

挠性导轨免维护、免摩擦和免磨损，并且不需要润滑。它们的刚度允许高负载能力，并且它们对冲击和振动不敏感。它们 100% 真空兼容，可在很宽的温度范围内工作。

 

由于平行位置测量，在纳米范围内具有高跟踪精度

所有的自由度都是根据一个单一的固定参考来测量的。轴之间不需要的串扰可以实时（取决于带宽）主动补偿（主动引导）。即使在动态操作中，也能在纳米范围内实现高跟踪精度。

pi-P-517 • P-527 多轴压电扫描仪