德国PI（Physik Instrumente）

用于纳米定位和光纤对准的紧凑型多轴压电系统

技术规格

行程可达 120 µm × 120 µm × 120 µm

超紧凑型：44 毫米 × 44 毫米 × 44 毫米

分辨率达 0.2 nm

快速响应行为

零间隙、高精度挠性导轨系统

PICMA® 压电执行器具有出色的使用寿命

用于快速扫描

带集成光纤支架的版本

特别便宜的系统

pi-P-611.3 NanoCube® XYZ 压电系统:

应用领域

光子学/集成光学

显微操作

生物技术

半导体测试

光纤定位

零间隙挠性导轨实现高导向精度

挠性导轨免维护、免摩擦和免磨损，并且不需要润滑。它们的刚度允许高负载能力，并且它们对冲击和振动不敏感。它们 100% 真空兼容，可在很宽的温度范围内工作。

得益于 PICMA® 压电执行器，使用寿命长

获得专利的PICMA®压电执行器是全陶瓷绝缘的。这可以保护它们免受因漏电流增加而导致的潮湿和故障的影响。PICMA® 执行器的使用寿命比传统的聚合物绝缘执行器长十倍。已证明 1000 亿次循环无一次故障。

pi-P-611.3 NanoCube® XYZ 压电系统